UHP高纯减压器严格按照高洁净技术要求生产


、安装和测试
，所有工序均在Class 10/100/1000无尘室进行

，确保产品不受污染

。

结构特点：
•316L不锈钢母体
•膜片式硬密封

，泄漏率低
•可采用面板安装和后座安装
•压力表标准连接





：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
•内部电解抛光
•高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
•使用寿命长
•100%氦气测试
材质

：
• 母体：316L
•阀座
：PCTFE*, Vespel®
•膜片：316L
•上盖
：316
功能特性


：
•流量


：Cv=0.14
•母体泄漏率



：2×10-8 atm cc/sec He
•阀座泄漏率
：4×10-8 atm cc/sec He
•设计验证压力：最大额定压力的150%
•设计爆破压力：最大额定压力的400%